सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादन का विस्तार विशेष उपकरणों के तेजी से विकास को बढ़ाता है

सिलिकॉन कार्बाइड पावर डिवाइस ऑटोमोटिव और अन्य एप्लिकेशन क्षेत्रों में पैठ में तेजी ला रहे हैं, जो भारी बाजार स्थान दिखा रहा है और विभिन्न निर्माताओं को उत्पादन विस्तार बढ़ाने के लिए आकर्षित कर रहा है। वोल्फस्पीड की पहली 8 इंच की लाइन के उत्पादन में डालने के बाद, बॉश ग्रुप, रोहम, इन्फीनॉन, तोशिबा ने हाल ही में सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादन लाइनों के विस्तार और नए निर्माण की भी घोषणा की गई है।

पारंपरिक सिलिकॉन वेफर उत्पादन लाइनों की तुलना में, सिलिकॉन कार्बाइड निर्माण प्रक्रिया उपकरणों पर अलग -अलग मांगें लाती है।

Stmicroelectronics की ऑटोमोटिव पावर डिवाइस प्रोजेक्ट के निदेशक Giuseppe Arena ने कहा कि वाइड-बैंडगैप सामग्रियों के अद्वितीय भौतिक और रासायनिक गुणों के कारण, सिलिकॉन कार्बाइड निर्माण प्रक्रिया एपिटैक्सियल ग्रोथ, आयन इम्प्लांटेशन, आयन इम्प्लांटेशन, आयन इम्प्लांटेशन, आयन प्रत्यारोपण में पारंपरिक सिलिकॉन-आधारित बिजली उपकरणों से काफी अलग है। और उच्च तापमान एनीलिंग। विशेष कक्षों जैसे मॉड्यूल को दोषों को नियंत्रित करने और उत्पादकता में सुधार करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। नक़्क़ाशी, पतले और अन्य लिंक में भी विशेष उपकरणों की आवश्यकता होती है।

प्रक्रिया और उपकरण परिपक्व होने के कारण, कुछ आईडीएम कंपनियां पुरानी 6 इंच सिलिकॉन वेफर उत्पादन लाइन को सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादन लाइन में बदलने पर विचार कर रही हैं। उद्योग के विशेषज्ञों का अनुमान है कि प्रक्रिया को समायोजित करने और विशेष उपकरणों की एक छोटी राशि खरीदने के लिए इसे केवल 20 मिलियन अमेरिकी डॉलर के निवेश की आवश्यकता है। इस तरह के उत्पादन लाइन परिवर्तन को पूरा किया जा सकता है।

वर्तमान में, श्रम और विशेषज्ञता विभाग इस क्षेत्र में दिखाई देना शुरू कर दिया है, और एक्स-फब जैसी कंपनियों ने पहले ही सिलिकॉन कार्बाइड फाउंड्री व्यवसाय में पैर रखा है।

स्कॉटलैंड, यूके में स्थित CLAS-SIC, 6 इंच सिलिकॉन कार्बाइड फाउंड्री प्रोडक्शन लाइन का संचालन करता है। उत्पादन लाइन का 10-15% सिलिकॉन कार्बाइड उपकरण समर्पित है, और अधिकांश शेष उपकरण सिलिकॉन वेफर उत्पादन लाइनों से नवीनीकृत हैं। कंपनी RAE Hyndman के अनुसार जिम्मेदार है, सिलिकॉन कार्बाइड उद्योग भी दूसरे हाथ के उपकरण खरीदते समय डिलीवरी की अड़चन का सामना करता है।

सिलिकॉन कार्बाइड बाजार आशाजनक है, और यह इस क्षेत्र में निवेश बढ़ाने के लिए उपकरण निर्माताओं को भी आकर्षित करता है। फैनलिन के एक तकनीकी विशेषज्ञ डेविड हेन्स ने कहा कि सिलिकॉन वेफर प्रक्रियाओं के लिए विकसित उपकरणों द्वारा सामना की जाने वाली आम चुनौती, सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट को संसाधित करते समय बाद में है। दृश्य और निकट-अवरक्त क्षेत्रों में लगभग पारदर्शी, डिटेक्शन मॉड्यूल को अनुकूलित करने की आवश्यकता है।

एक अन्य उपकरण दिग्गज, एप्लाइड मैटेरियल्स, ने कई विशेष सिलिकॉन कार्बाइड उपकरण भी लॉन्च किए हैं। सिलिकॉन कार्बाइड के विशेष भौतिक और रासायनिक गुणों के लिए डिज़ाइन किए गए इसके सीएमपी उपकरण को सिलिकॉन कार्बाइड वेफर्स के सतह दोषों को काफी कम करने के लिए कहा जाता है, शेंगमी कंपनी के व्यवसाय विकास निदेशक सैली एन हेनरी के अनुसार। कहा कि वर्तमान सिलिकॉन कार्बाइड विशेष उपकरण बाजार अभी भी विकास के प्रारंभिक चरण में है, और अधिकांश आईडीएम अभी भी 6-इंच उत्पादन लाइनों का संचालन कर रहे हैं। (ब्रिज टूल्स) बहुत आकर्षक होगा। इस तरह के उपकरणों को पहले 6 इंच की उत्पादन लाइन में पेश किया जा सकता है। क्योंकि यह सबसे उन्नत डिटेक्शन मॉड्यूल से सुसज्जित है, यह स्थिरता, लोडिंग और अनलोडिंग मॉड्यूल को बदलने के बाद भविष्य में 8-इंच की उत्पादन लाइन के अनुकूल हो सकता है। तार।